從依賴進(jìn)口到自主破局：四方光電氣體傳感器助推半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵跨越

  10月28日，《中共中央關(guān)于制定國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十五個(gè)五年規(guī)劃的建議》正式發(fā)布。《建議》在“加快高水平科技自立自強(qiáng)”部分明確提出，要完善新型舉國(guó)體制，采取超常規(guī)措施，全鏈條推動(dòng)包括集成電路、高端儀器在內(nèi)的重點(diǎn)領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)取得決定性突破。這一部署，不僅再次確立了集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略高度，更強(qiáng)調(diào)了高端儀器在保障國(guó)家產(chǎn)業(yè)鏈安全中的關(guān)鍵作用。

  響應(yīng)政策號(hào)召，前瞻布局半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)替代

  近年來，國(guó)家相繼出臺(tái)系列政策，全力支持集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈的創(chuàng)新發(fā)展，提升自主可控能力。作為國(guó)內(nèi)氣體傳感器與高端科學(xué)儀器的上市企業(yè)，四方光電股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“四方光電”)及旗下全資子公司四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱“四方儀器”)積極響應(yīng)國(guó)家政策號(hào)召，依托在氣體傳感領(lǐng)域的深厚技術(shù)積淀和敏銳產(chǎn)業(yè)洞察，前瞻性布局半導(dǎo)體精密制造領(lǐng)域，已構(gòu)建起完整的技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化體系，特別是在紅外(NDIR)、氧化鋯等傳感原理上，完全具備了從核心傳感器到高端分析儀器的全鏈條自主研發(fā)能力。

  針對(duì)半導(dǎo)體制造中對(duì)氣體環(huán)境極其嚴(yán)苛的監(jiān)控需求，四方光電持續(xù)技術(shù)攻堅(jiān)，打破國(guó)外壟斷，自主研發(fā)推出紅外氣體傳感器和微量氧分析儀等多款創(chuàng)新產(chǎn)品，精準(zhǔn)解決行業(yè)核心痛點(diǎn)，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)可靠的國(guó)產(chǎn)化技術(shù)支撐。

  聚焦核心技術(shù)，以創(chuàng)新產(chǎn)品直擊行業(yè)痛點(diǎn)

  01. 紅外氣體傳感器：精準(zhǔn)判定清潔終點(diǎn)，推動(dòng)綠色制造

  在薄膜沉積(CVD/ALD)工藝中，腔室清潔是保障工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵步驟。傳統(tǒng)基于經(jīng)驗(yàn)時(shí)間的控制方法，為避免清潔不徹底往往采取過度清潔策略，造成了NF?等昂貴工藝氣體的巨大浪費(fèi)。

  四方光電推出的 Gasboard-2060紅外氣體傳感器，直擊這一痛點(diǎn)。該產(chǎn)品通過實(shí)時(shí)、精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)清潔過程中副產(chǎn)物如SiF?的濃度變化，能夠精準(zhǔn)、智能地判定清潔終點(diǎn)。這幫助客戶在實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)工藝控制的同時(shí)，有效降低運(yùn)營(yíng)成本，踐行綠色制造理念。

  02. 微量氧分析儀：0.1ppm級(jí)精度，守護(hù)工藝環(huán)境純凈

  在半導(dǎo)體制造中，氧污染是影響芯片良率的“隱形殺手”。即便微量氧氣(低至ppm級(jí))也足以引發(fā)不必要的氧化反應(yīng)，導(dǎo)致集成電路和硅片缺陷，破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性和可靠性。

  四方光電自主研發(fā)的 Gasboard-3050系列低濃度氧氣分析儀，最低分辨率達(dá)0.1ppm，量程覆蓋0–10ppm至100% O?，搭載經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的氧化鋯傳感器，具備優(yōu)異的再現(xiàn)性與高速響應(yīng)特性，能對(duì)工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)，從而有效幫助客戶從源頭控制氧污染，為提升產(chǎn)品良率提供可靠保障。

  贏得市場(chǎng)信賴，國(guó)產(chǎn)力量獲頭部客戶認(rèn)可

  憑借卓越的產(chǎn)品性能與穩(wěn)定的質(zhì)量表現(xiàn)，四方光電的半導(dǎo)體行業(yè)氣體監(jiān)測(cè)方案已成功打入國(guó)內(nèi)多家主流半導(dǎo)體制造企業(yè)與設(shè)備廠商的供應(yīng)鏈，并獲得頭部客戶的持續(xù)采購(gòu)與良好評(píng)價(jià)。客戶反饋?zhàn)C實(shí)，四方光電的產(chǎn)品在穩(wěn)定性及使用壽命等關(guān)鍵指標(biāo)上，已達(dá)到同類進(jìn)口產(chǎn)品水平，真正實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化替代。

  與此同時(shí)，四方光電積極參與SEMICON China、CSEAC半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)等全球頂級(jí)半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)，通過展會(huì)平臺(tái)與產(chǎn)業(yè)界深入交流，持續(xù)擴(kuò)大品牌影響力，展示了中國(guó)企業(yè)在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域的創(chuàng)新實(shí)力與進(jìn)取精神。

  展望“十五五”新征程，高端儀器與集成電路產(chǎn)業(yè)的命運(yùn)緊密交織在一起。四方光電將繼續(xù)秉持技術(shù)自立的初心，緊密圍繞國(guó)家戰(zhàn)略與產(chǎn)業(yè)需求，不斷攻堅(jiān)高端氣體分析領(lǐng)域的“卡脖子”難題，以更多創(chuàng)新、可靠的傳感解決方案，賦能中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的提質(zhì)增效與自主可控。

編輯：Frank

校對(duì)：Hardy, Shirley

審核：Daniel

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